发明名称 SLIDE BOAT FOR LIQUID PHASE GROWTH
摘要
申请公布号 JPH01305888(A) 申请公布日期 1989.12.11
申请号 JP19880137947 申请日期 1988.06.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ANAYAMA CHIKASHI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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