发明名称 METHOD FOR ELECTRICALLY HEATING POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 JPH01305810(A) 申请公布日期 1989.12.11
申请号 JP19880136264 申请日期 1988.06.02
申请人 OSAKA TITANIUM CO LTD 发明人 OGAWA HIROSHI
分类号 C01B33/02 主分类号 C01B33/02
代理机构 代理人
主权项
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