发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0234939(A) 申请公布日期 1990.02.05
申请号 JP19880185004 申请日期 1988.07.25
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UNO MASAAKI
分类号 H01L29/808;H01L21/337 主分类号 H01L29/808
代理机构 代理人
主权项
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