二维位移量的量测装置

摘要

本发明是有关于一种二维位移量的量测装置，其是包括激光光源、平行化透镜、分光镜组、复数错位共轭光学镜组以及复数干涉光学解相模组，激光光源是提供一激光光源入射平行化透镜，以产生平行化的激光光源，继而入射分光镜组，以分成两道入射光，以供入射二维绕射单元，以产生复数道第一次绕射光以及第一二阶绕射光，该等错位共轭光学镜组用以反射第一次绕射光，以供该等第一次绕射光返回二维绕射单元，以产生复数第二次绕射光，并使得第二次绕射光与第一二阶绕射光错位，该等干涉光学解相模组则将第二次绕射光产生的弦波信号光解相，以供利用该等信号光求出二维移动量。

主权项

1.一种二维位移量的量测装置，是用以量测一二维移动量，其特征在于，该量测装置包括：一个二维绕射单元；一激光光源，是用以提供一入射光源；一分光镜组，是用以将该入射光源分光，以产生至少二道入射光，以供该至少二道入射光入射该二维绕射单元，以产生复数道第一次绕射光以及复数道第一次二阶绕射光；复数错位共轭光学镜组，是分别反射该等第一次绕射光，使得该等第一次绕射光返回该二维绕射单元，以产生复数道第二次绕射光，且该等第二次绕射光是与该等第一次二阶绕射光错位；以及复数干涉光学解相模组，是分别接收该等第二次绕射光，以供将每一道第二次绕射光分光为至少二道信号光，以利用该等信号光求出该二维移动量。