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发明名称 PIEZOELEKTRISCHES AKTORSYSTEM
摘要
申请公布号 AT355616(T) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 AT20030024481T 申请日期 2003.10.23
申请人 VERMES TECHNIK GMBH & CO. KG 发明人 HENTSCHEL, LOTHAR
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09;F02M51/06 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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