| 发明名称 |
PLASMA-VERDAMPFUNGSQUELLE MIT KATHODEN-ELEKTRODE FÜR EINE VAKUUM-BESCHICHTUNGSANORDNUNG |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT355607(T) |
申请公布日期 |
2006.03.15 |
| 申请号 |
AT20010112774T |
申请日期 |
2001.05.28 |
| 申请人 |
SATIS VACUUM INDUSTRIES VERTRIEBS - AG |
发明人 |
SIEGRIST, BEAT |
| 分类号 |
C23C16/503;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
C23C16/503 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
