制造压电谐振器的方法

摘要

一种制造压电谐振器的方法，包括如下步骤：在压电基板的正、反面上包含振动电极的区域D1中形成比振动电极大的第一电极；测量包含第一电极的谐振器的谐振频率fr₁。根据所测量的谐振频率确定频率测量所需的金属薄膜厚度。接着，在至少包含压电基板的振动电极的区域D2中形成由具有确定厚度的金属薄膜形成的第二电极。除去第一和第二电极的多余部分，形成最终振动电极的图样。从而，无需复杂的定位，就能实行高精确度的频率调整。

主权项

1.一种制造压电谐振器的方法，所述压电谐振器中的压电基板两个表面上形成振动电极，使振动电极彼此相对，并使压电振动限制在所述振动电极之间，所述方法包括如下步骤：在压电基板每个表面上至少包含振动电极的区域中形成第一电极，以便至少在一个表面上的第一电极部分地形成在压电基板的表面上，以限制所述压电振动；测量包含第一电极的谐振器的频率；根据所测量的频率确定用于频率调整所需金属膜的厚度；至少在压电基板的一个表面上的至少包含振动电极的区域中，形成由具有确定厚度的金属膜形成的第二电极，使第二电极覆盖在第一电极上；并除去第一电极和第二电极的多余部分，使压电基板两个表面上的振动电极彼此相对，以便在其上形成有第二电极的压电基板表面上的整个振动电极成为第一电极和第二电极的层叠结构。