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发明名称 VACUUM-ASSISTED PAD CONDITIONING SYSTEM AND METHOD UTILIZING AN APERTURED CONDITIONING DISK
摘要
申请公布号 EP1633527(A2) 申请公布日期 2006.03.15
申请号 EP20040753223 申请日期 2004.05.25
申请人 TBW INDUSTRIES, INC 发明人 BENNER, STEPHEN, J.
分类号 B24B53/00;B24B53/007;B24B53/013;B24B53/02;B24B57/00;H01L21/306;(IPC1-7):B24B1/00 主分类号 B24B53/00
代理机构 代理人
主权项
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