| 发明名称 | 荷电粒子线应用装置 | ||
| 摘要 | 提供一种荷电粒子线应用装置。描绘时动态地检测晶片的电位，通过修正该电位，谋求提高在晶片上描绘的电路图形的位置精度。测定了晶片(101，试样)和接地引线(107，接触端子)形成的接触电阻后，测定从晶片(101，试样)经由接地引线(107，接触端子)流到接地电位的电流，根据测定结果将电位差赋予晶片(101，试样)和接地电位之间。 | ||
| 申请公布号 | CN1747131A | 申请公布日期 | 2006.03.15 |
| 申请号 | CN200510098852.X | 申请日期 | 2005.09.09 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术;佳能株式会社 | 发明人 | 谷本明佳;早田康成;菅谷昌和;远山博;堤刚志;染田恭宏 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);H05H1/46(2006.01);H01J37/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 岳耀锋 |
| 主权项 | 1、一种荷电粒子线应用装置，其特征在于：具有保持试样的试样载物台、对该试样载物台上的试样照射荷电粒子线的单元、以及保持在上述试样载物台上的静电吸附装置；该静电吸附装置备有：具有放置试样的放置面的电介质、设置在该电介质内部的电极、使上述试样达到接地电位用的接触端子、导电性地连接在上述电极上的可变直流电源及直流电源、控制赋予该可变直流电源的电压用的控制单元、以及配置在上述接触端子和接地电位之间的电流测量单元；上述控制单元根据该电流测定单元的测定结果，计算赋予上述可变直流电源的电压。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||