| 发明名称 |
LITHOGRAPHIEOBJEKTIV MIT EINER ERSTEN LINSENGRUPPE, BESTEHEND AUSSCHLIESSLICH AUS LINSEN POSITIVER BRECHKRAFT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MIKROSTRUKTURIERTER BAUTEILE MIT EINEM SOLCHEN OBJEKTIV |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AT320018(T) |
申请公布日期 |
2006.03.15 |
| 申请号 |
AT20010128878T |
申请日期 |
2001.12.05 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
SCHUSTER, KARL-HEINZ;EPPLE, ALEXANDER, DR. |
| 分类号 |
G02B9/14;G02B13/14;G02B13/18;G02B13/22;G02B13/24;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/14 |
主分类号 |
G02B9/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
