| 发明名称 |
FORMATION OF JUNCTIONS AND SILICIDES WITH REDUCED THERMAL BUDGET |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1634325(A1) |
申请公布日期 |
2006.03.15 |
| 申请号 |
EP20040733884 |
申请日期 |
2004.05.19 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V.;INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW |
发明人 |
PAWLAK, BARTLOMIEJ, J. |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/28;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
