PLASMA PROCESSING DEVICE,申请号EP20030730742-传众专利搜索

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发明名称	PLASMA PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号	EP1536671(A4)	申请公布日期	2006.03.15
申请号	EP20030730742	申请日期	2003.05.30
申请人	TOKYO ELECTRON LIMITED	发明人	ISHIBASHI, KIYOTAKA,;NOZAWA, TOSHIHISA,
分类号	H05H1/46;H01J37/32;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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