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发明名称
摘要
申请公布号
KR100539452(B1)
申请公布日期
2006.03.14
申请号
KR19980043989
申请日期
1998.10.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/00
主分类号
H01L21/00
代理机构
代理人
主权项
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