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经营范围
发明名称
CLUSTER ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03158458(A)
申请公布日期
1991.07.08
申请号
JP19890297477
申请日期
1989.11.17
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
MINOWA YOSHIFUMI;KAJITA NAOYUKI
分类号
C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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