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发明名称 RECESS GATE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH THE SAME
摘要
申请公布号 KR100562657(B1) 申请公布日期 2006.03.13
申请号 KR20040115061 申请日期 2004.12.29
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 YU, JAE SEON;KONG, PHIL GOO
分类号 H01L21/336;H01L21/335 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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