| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING DIAMETER OF MINUTE PARTICULATE WITH LASER BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03163332(A) |
申请公布日期 |
1991.07.15 |
| 申请号 |
JP19890305368 |
申请日期 |
1989.11.22 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KOMORI HIDEKI;AKIYAMA MINORU;ECCHU MASAO;TOMOTA TOSHIMASA |
| 分类号 |
G01B11/10;G01N15/02;G01N15/14 |
主分类号 |
G01B11/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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