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发明名称 APPARATUS FOR DEPOSITING A MATTER AND APPARATUS FOR MOVING A MASK
摘要
申请公布号 KR100559190(B1) 申请公布日期 2006.03.13
申请号 KR20040024620 申请日期 2004.04.09
申请人 发明人
分类号 C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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