发明名称 METHOD OF FABRICATING A TRENCH ISOLATION LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100562327(B1) 申请公布日期 2006.03.13
申请号 KR20040113150 申请日期 2004.12.27
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, BYUNG HO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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