发明名称 焊垫、其配置、及该二者的制造方法
摘要 本发明揭示一种焊垫及其制造方法,上述焊垫系形成于一IC晶片上,适用于将上述IC晶片与一封装基板电性连接。上述焊垫包含:一接合部,具有一接合表面;以及一测试部,具有一测试表面,上述测试表面相邻于上述接合表面并与其电性连接;其中上述焊垫在上述接合部与相邻的测试部均具有第一平面维度,上述接合部更包含大体上垂直于上述第一平面维度的第二平面维度,上述测试部更包含大体上垂直于上述第一平面维度并大体上平行于上述第二平面维度的第三平面维度,上述第三平面维度小于上述第二平面维度。
申请公布号 TWI251286 申请公布日期 2006.03.11
申请号 TW094109079 申请日期 2005.03.24
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 曹佩华;苏昭源;徐家雄;黄传德
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种焊垫,适用于一IC晶片的电性连接,包含: 一接合部,具有用以承接一电性连接器的一接合表 面;以及 一测试部,具有一测试表面,该测试表面相邻于该 接合表面并与其电性连接,该测试部系用以承接一 测试探针,而测试该IC晶片的性能; 其中该焊垫在该接合部与相邻的测试部均具有第 一平面维度,该接合部更包含大体上垂直于该第一 平面维度的第二平面维度,该测试部更包含大体上 垂直于该第一平面维度并大体上平行于该第二平 面维度的第三平面维度,该第三平面维度小于该第 二平面维度。 2.如申请专利范围第1项所述之焊垫,其中该电性连 接器包含软焊料凸块(solder bump)。 3.如申请专利范围第1项所述之焊垫,其中该电性连 接器包含焊线接合物(wirebond)。 4.如申请专利范围第1项所述之焊垫,其中该电性连 接器包含金属接合物。 5.如申请专利范围第1项所述之焊垫,其中使该接合 部与该测试部各包含一方形,该测试部的方形小于 该接合部的方形。 6.如申请专利范围第1项所述之焊垫,其中该焊垫系 形成于一IC晶片上,并经由该焊垫使该IC晶片与一 封装基板形成电性连接。 7.一种焊垫的制造方法,适用于一IC晶片的电性连 接,包含: 形成一接合部,具有用以承接一电性连接器的一接 合表面,该接合表面具有第一平面维度;以及 形成一测试部,具有一测试表面,该测试表面相邻 于该接合表面并与其电性连接,该测试部系用以承 接一测试探针,而测试该IC晶片的性能,该测试部具 有大体上平行并小于该第一平面维度的第二平面 维度,其中该焊垫在该接合部与相邻的测试部均具 有第三平面维度,该第三平面维度大体上垂直于该 第一及第二平面维度。 8.如申请专利范围第7项所述之焊垫的制造方法,其 中该电性连接器包含软焊料凸块(solder bump)。 9.如申请专利范围第7项所述之焊垫的制造方法,其 中该电性连接器包含焊线接合物(wirebond)。 10.如申请专利范围第7项所述之焊垫的制造方法, 其中该电性连接器包含金属接合物。 11.如申请专利范围第7项所述之焊垫的制造方法, 其中该接合部与该测试部的形成更包含使该接合 部与该测试部各包含一方形,该测试部的方形小于 该接合部的方形。 12.如申请专利范围第7项所述之焊垫的制造方法, 更包含经由该焊垫使该IC晶片与一封装基板形成 电性连接。 13.一种焊垫配置,其系形成于一IC晶片上,适用于将 该IC晶片与一封装基板电性连接,该焊垫配置包含: 第一焊垫与第二焊垫,各包含: 一接合部,具有用以承接一电性连接器的一接合表 面;以及 一测试部,具有一测试表面,该测试表面相邻于该 接合表面并与其电性连接,该测试部系用以承接一 测试探针,而测试该IC晶片的性能; 其中该焊垫在该接合部与相邻的测试部均具有第 一平面维度,该接合部更包含大体上垂直于该第一 平面维度的第二平面维度,该测试部更包含大体上 垂直于该第一平面维度并大体上平行于该第二平 面维度的第三平面维度,该第三平面维度小于该第 二平面维度;以及 其中该第二焊垫的测试部系相邻于该第一焊垫的 接合部,而该第一焊垫的测试部系相邻于该第二焊 垫的接合部。 14.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中该 电性连接器包含软焊料凸块(solder bump)。 15.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中该 电性连接器包含焊线接合物(wirebond)。 16.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中该 电性连接器包含金属接合物。 17.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中使 该接合部与该测试部各包含一方形,该测试部的方 形小于该接合部的方形。 18.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中该 第一焊垫的接合部与该第二焊垫的接合部的尺寸 大体相同,而该第一焊垫的测试部与该第二焊垫的 测试部的尺寸大体相同。 19.如申请专利范围第13项所述之焊垫配置,其中该 封装基板亦包含一焊垫配置电性连接于该第一焊 垫与该第二焊垫。 20.一种焊垫配置的制造方法,其中该焊垫配置系形 成于一IC晶片上,适用于将该IC晶片与一封装基板 电性连接,该焊垫配置的制造方法包含: 形成第一焊垫与第二焊垫,两者的形成各包含: 形成一接合部,具有用以承接一电性连接器的一接 合表面,该接合表面具有第一平面维度;以及 形成一测试部,具有一测试表面,该测试表面相邻 于该接合表面并与其电性连接,该测试部系用以承 接一测试探针,而测试该IC晶片的性能,该测试部具 有大体上平行并小于该第一平面维度的第二平面 维度,其中该第一与第二焊垫各在其接合部与相邻 的测试部均具有第三平面维度,该第三平面维度大 体上垂直于该第一及第二平面维度; 其中该第一与第二焊垫的形成更包含使该第二焊 垫的测试部相邻于该第一焊垫的接合部、而该第 一焊垫的测试部相邻于该第二焊垫的接合部。 21.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,其中该电性连接器包含软焊料凸块(solder bump )。 22.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,其中该电性连接器包含焊线接合物(wirebond) 。 23.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,其中该电性连接器包含金属接合物。 24.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,其中该接合部与该测试部的形成更包含使其 各包含一方形,其中该测试部的方形小于该接合部 的方形。 25.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,其中该第一与第二焊垫的形成更包含使该第 一焊垫的接合部与该第二焊垫的接合部的尺寸大 体相同,而该第一焊垫的测试部与该第二焊垫的测 试部的尺寸大体相同。 26.如申请专利范围第20项所述之焊垫配置的制造 方法,更包含在该封装基板上形成其焊垫配置,并 使其电性连接于该第一焊垫与该第二焊垫。 图式简单说明: 第1图为一示意图,系显示一组传统的焊垫。 第2图为一示意图,系显示一组本发明之焊垫。 第3图为一示意图,系显示一IC晶片一表面的一部分 ,其具有数个本发明之焊垫形成于其上。
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