| 主权项 |
1.一种矽基液晶(Liquid Crystal On Chip; LCOS)显示面板 之配向方法,至少包含: 提供一基板,该基板上至少设有一彩色滤光层;以 及 进行一微影制程,以形成复数个配向用微沟槽于该 彩色滤光层之一上表面。 2.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶显示面板 之配向方法,其中该微影制程系将一光罩之一图案 投射至相对于该上表面之一非聚焦面(Out-Of-Focal Plane)上,以定义出该些配向用微沟槽。 3.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶显示面板 之配向方法,其中该微影制程系将一相位移(Phase- Shift)光罩之一图案投射至该上表面,以定义出该些 配向用微沟槽。 4.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶显示面板 之配向方法,其中该彩色滤光层之材质为一光阻材 料。 5.如申请专利范围第1项所述之矽基液晶显示面板 之配向方法,其中该基板系选自于由一玻璃基板、 一半导体基板以及一塑胶基板所组成之一族群。 6.一种矽基液晶显示面板之制造方法,至少包含: 提供一第一基板,该第一基板上至少设有一彩色滤 光层; 进行一微影制程,以形成复数个配向用微沟槽于该 彩色滤光层之一上表面; 将一第二基板平行对准于该第一基板;以及 形成一液晶层于该第一基板以及该第二基板之间 。 7.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶显示面板 之制造方法,其中该微影制程系将一光罩之一图案 投射至相对于该上表面之一非聚焦面上,以定义出 该些配向用微沟槽。 8.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶显示面板 之制造方法,其中该微影制程系将一相位移光罩之 一图案投射至该上表面,以定义出该些配向用微沟 槽。 9.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶显示面板 之制造方法,其中该彩色滤光层之材质为一光阻材 料。 10.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶显示面板 之制造方法,其中该第一基板系选自于由一玻璃基 板、一半导体基板以及一塑胶基板所组成之一族 群。 11.如申请专利范围第6项所述之矽基液晶显示面板 之制造方法,其中该第二基板系选自于由一玻璃基 板、一半导体基板以及一塑胶基板所组成之一族 群。 图式简单说明: 第1图系绘示习知矽基液晶显示面板之结构剖面图 ;以及 第2A图至第2D图系绘示根据本发明一较佳实施例之 矽基液晶显示面板之制程剖面图。 |
