发明名称 晶圆允收测试(WAT)管理系统与方法、及用以储存执行前述方法之电脑程式的资讯储存媒体
摘要 一种晶圆允收测试(Wafer Acceptance Test, WAT)管理系统,其包括输出入装置、测试设定资料库、及处理装置。上述输出入装置用以接收一第一测试模型资料及一第一允收条件资料。上述测试设定资料库用以储存一预设测试模型资料及一预设允收条件资料。上述处理装置用以依据该第一测试模型资料修改该预设测试条件资料以产生一第二测试模型资料,及依据该第一允收条件资料修改该预设允收条件资料以产生一第二允收条件资料。
申请公布号 TWI251133 申请公布日期 2006.03.11
申请号 TW093123598 申请日期 2004.08.06
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 张永政
分类号 G05B13/00 主分类号 G05B13/00
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种晶圆允收测试管理系统,其包括: 一输出入装置,用以接收一第一测试模型资料及一 第一允收条件资料; 一测试设定资料库,用以储存一预设测试模型资料 及一预设允收条件资料;以及 一处理装置,用以依据该第一测试模型资料修改该 预设测试条件资料以产生一第二测试模型资料,及 依据该第一允收条件资料修改该预设允收条件资 料以产生一第二允收条件资料。 2.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,进一步包含一允收测试控制装置,其依据该 第二测试模型资料以产生一第二测试程式码,其系 可执行于一允收测试执行系统,使得据以进行一允 收测试。 3.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,进一步包含一品质管制装置,其接收该第二 允收条件资料,并据以执行一晶圆产品之允收检验 。 4.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,进一步包含一工程辅助装置,其依据该第二 测试模型资料、第二允收条件资料、一允收测试 结果资料及允收检验结果资料,产生一允收整合报 告资料。 5.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,其中该测试模型资料包含一测试点资料以定 义每一测试晶圆之测试点数量及配置。 6.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,其中该允收条件资料包含一测试键参数资料 。 7.如申请专利范围第1项所述之晶圆允收测试管理 系统,其中该允收条件资料包含一品质管制标准资 料。 8.一种晶圆允收测试管理方法,其包括: 提供一预设测试模型资料及一预设允收条件资料; 提供一第一测试模型资料及一第一允收条件资料; 依据该第一测试模型资料修改该预设测试模型资 料以产生一第二测试模型资料;以及 依据该第一允收条件资料修改该预设允收条件资 料以产生一第二允收条件资料。 9.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,进一步依据该第二测试模型资料以产生一第 二测试程式码,其系可执行于一允收测试执行系统 ,使得据以进行一允收测试。 10.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,进一步接收该第二允收条件资料,并据以执 行一晶圆产品之允收检验。 11.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,进一步依据该第二测试模型资料、第二允收 条件资料、一允收测试结果资料及允收检验结果 资料,产生一允收整合报告资料。 12.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,其中该测试模型资料包含一测试点资料以定 义每一测试晶圆之测试点数量及配置。 13.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,其中该允收条件资料包含一测试键参数资料 。 14.如申请专利范围第8项所述之晶圆允收测试管理 方法,其中该允收条件资料包含一品质管制标准资 料。 15.一种储存媒体,用以储存一电脑程式,上述电脑 程式可载入于一电脑系统并且执行下述之晶圆允 收测试(WAT)管理方法,该方法适用于,该方法包括: 接收一预设测试模型资料及一预设允收条件资料; 接收一第一测试模型资料及一第一允收条件资料; 依据该第一测试模型资料修改该预设测试模型资 料以产生一第二测试模型资料;以及 依据该第一允收条件资料修改该预设允收条件资 料以产生一第二允收条件资料。 16.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 方法进一步依据该第二测试模型资料以产生一第 二测试程式码,其系可执行于一允收测试执行系统 ,使得据以进行一允收测试。 17.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 方法进一步接收该第二允收条件资料,并据以执行 一晶圆产品之允收检验。 18.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 方法进一步依据该第二测试模型资料、第二允收 条件资料、一允收测试结果资料及允收检验结果 资料,产生一允收整合报告资料。 19.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 测试模型资料包含一测试点资料以定义每一测试 晶圆之测试点数量及配置。 20.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 允收条件资料包含一测试键参数资料。 21.如申请专利范围第15项所述之储存媒体,其中该 允收条件资料包含一品质管制标准资料。 图式简单说明: 第1图显示依据本发明实施例之晶圆允收测试管理 系统及其实施环境的示意图。 第2图显示依据本发明实施例晶圆允收测试管理方 法的流程图。 第3A至3C图显示依据本发明实施例中的资料格式示 意图。 第4图显示依据本发明实施例之储存媒体示意图。
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