发明名称 SPIN RINSE DRYER
摘要
申请公布号 KR20060022435(A) 申请公布日期 2006.03.10
申请号 KR20040071255 申请日期 2004.09.07
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 KIM, DUK JUNG
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址