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经营范围
发明名称
SPIN RINSE DRYER
摘要
申请公布号
KR20060022435(A)
申请公布日期
2006.03.10
申请号
KR20040071255
申请日期
2004.09.07
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KIM, DUK JUNG
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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