发明名称 КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ КООРДИНАТНЫЙ СТОЛ
摘要
申请公布号 RU2004128897(A) 申请公布日期 2006.03.10
申请号 RU20040128897 申请日期 2004.10.01
申请人 ЗАО "НТ-МДТ" (RU) ЗАО "НТ-МДТ" (RU);Государственный НИИ Физических проблем им. Ф.В. ЛуГосударственный НИИ Физических проблем им. Ф.В. Лукина (RU) кина (RU) 发明人 Полторацкий Эдуард Алексеевич (RU) Полторацкий Эдуард Алексеевич (RU);Редченко Владимир Викторович (RU) Редченко Владимир Викторович (RU);Соколов Дмитрий Юрьевич (RU) Соколов Дмитрий Юрьевич (RU)
分类号 G01Q30/20;G02B21/26;H01L41/00 主分类号 G01Q30/20
代理机构 代理人
主权项
地址