Tool for cleaning a cover of a etching bath,申请号KR19990005833-传众专利搜索

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发明名称	Tool for cleaning a cover of a etching bath
摘要
申请公布号	KR100558539(B1)	申请公布日期	2006.03.10
申请号	KR19990005833	申请日期	1999.02.22
申请人		发明人
分类号	H01L21/306	主分类号	H01L21/306
代理机构		代理人
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