| 发明名称 |
Verfahren zum Dünnen und Separieren selektierter Bereiche dünner Scheiben |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10062014(B4) |
申请公布日期 |
2006.03.09 |
| 申请号 |
DE20001062014 |
申请日期 |
2000.12.13 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
MATSCHITSCH, MARTIN;MATHUNI, JOSEF |
| 分类号 |
H01L21/301;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/301 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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