| 主权项 |
1.一种钝化处理装置,至少包含:炉体;处理管体,被 插 入该炉体内,而于管长方向之一端部具有开闭盖; 保持体 ,可收纳于该处理管体内,且能以连通状态支持着 被处理 体;移送机构,可将该保持体自该一端部侧朝该管 长方向 之另端部侧搬入、搬出该处理管体内;处理气体供 给机构 ,用以将处理气体送给入于该保持体内;处理气体 排气机 构,用以将前述被送给之处理气体排出该处理管体 外;及 钝气供给机构,用以将钝气送入该处理管体内;其 特征为 :该钝气供给机构包括温度均一化机构,用以使导 入至该 处理管体内之受加热之钝气之流动分布成为均一 化。2.如申请专利范围第1项所述之钝化处理装置, 其中,该 温度均一化机构设有被插入于处理管体内而有钝 气导入之 中空之分散管,该分散管设在面对该处理管体内壁 之一侧 ,沿管长方向隔既定间隔穿设形成有至少一对之多 数对贯 通孔。3.如申请专利范围第1或2项所述之钝化处理 装置,其中, 该温度均一化机构设有钝气预热部,设于该炉体与 处理管 体之间,用以将导入至该处理管体内之钝气予以加 热。4.如申请专利范围第1项所述之钝化处理装置, 其中,该 保持体设有处理气体预热部,用以将导入至该处理 管体内 之处理气体予以加热。5.如申请专利范围第1项所 述之钝化处理装置,其中,该 钝气预热部为用以供该钝气流过之导管。6.如申 请专利范围第1项所述之钝化处理装置,其中,该 处理气体预热部为设于该处理管体内用以供处理 气体流过 被处理体之引导管。7.如申请专利范围第3项所述 之钝化处理装置,其中,该 引导管在被处理体侧分叉为多数之流路。8.如申 请专利范围第1项所述之钝化处理装置,其中,该 处理气体供给机构具有可控制处理气体之供给量 及供给速 度的处理气体控制部,前述钝气供给机构具有可控 制钝气 之供给量及供给速度的钝气控制部,前述炉体具有 可控制 该炉体之加热温度的温度控制部;至少该处理气体 控制部 、钝气控制部及该温度控制部采取由中央控制部 予以程式 控制的构成。9.如申请专利范围第1项所述之钝化 处理装置,其中,该 处理管体设有冷却机构,用以冷却该开闭盖之附近 之外部 。10.如申请专利范围第1项所述之钝化处理装置, 其中,该 开闭盖可装着由橡胶材料构成之密封构件。11.如 申请专利范围第1项所述之钝化处理装置,其中,该 移送机构设有电气式驱动机构,用以使该保持体朝 该搬出 入方向往复运动。12.如申请专利范围第6项所述之 钝化处理装置,其中,该 驱动机构系由该中央控制部予以程式控制者。13. 如申请专利范围第1项所述之钝化处理装置,其中, 该 炉体设有空气冷却机构,用以使冷却空气沿炉长方 向流过 其与该处理管体之间。14.如申请专利范围第1项所 述之钝化处理装置,其中,该 被处理体为可分别介由接头而可相对于该处理气 体供给机 构及处理气体排气机构自由装着、脱开者。15.如 申请专利范围第1项所述之钝化处理装置,其中,该 被处理体为金属构件。16.如申请专利范围第15项 所述之钝化处理装置,其中, 该金属构件为定长之金属管。17.如申请专利范围 第1项所述之钝化处理装置,其中,该 钝气为氮气。18.如申请专利范围第1项所述之钝化 处理装置,其中,该 处理气体为氧气。19.如申请专利范围第1项所述之 钝化处理装置,其中,该 被处理体为可介由接头构件相对于该保持体自由 装着、脱 |
