发明名称 Halbleitersensor eines Kapazitätstyps
摘要 In einem Halbleitersensor für eine dynamische Größe eines Kapazitätstyps sind ein Sensorchip (12) und ein Schaltungschip bzw. Mikroschaltungsbaustein (13) miteinander durch einen Haftfilm (16) verbunden, welcher eine Elastizität von 200 MPa oder weniger aufweist, um die Temperaturkenngröße zu verringern. Vier Bonddrähte (17) für eine Verbindung des Sensorchips (12) und des Schaltungschips (13) sind derart angeordnet, dass jeder der Bonddrähte an dem mittleren Abschnitt jedes Seitenabschnitts des Sensorchips (12) oder an jedem Eckenabschnitt des Sensorchips (12) lokalisiert ist, wodurch der Abstand der Bonddrähte (17) hinreichend erhöht wird und somit der absolute Wert der somit auftretenden parasitären Kapazität hinreichend verringert wird. Sogar dann, wenn die parasitäre Kapazität zwischen den vier Bonddrähten (17) sich ändert, ist daher die Änderung sehr klein, und somit kann der Einfluss auf die Sensorcharakteristik verringert werden.
申请公布号 DE102005040341(A1) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 DE200510040341 申请日期 2005.08.25
申请人 DENSO CORPORATION, KARIYA 发明人 KITAO, NORIO;UMEMURA, AKINOBU
分类号 G01P15/125 主分类号 G01P15/125
代理机构 代理人
主权项
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