发明名称 TESTER SYSTEM HAVING INSPECTION BOARD AND METHOD OF INSPECTING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060022148(A) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 KR20040070948 申请日期 2004.09.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YUN, BYONG HUI;LEE, KYU JEONG
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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