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发明名称 Polymer und Photoresistzusammensetzungen
摘要
申请公布号 DE60110292(T2) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 DE2001610292T 申请日期 2001.02.22
申请人 SHIPLEY CO., L.L.C. 发明人 SZMANDA, CHARLES R.;BARCLAY, GEORGE G.;TREFONAS, PETER;YUEH, WANG
分类号 C08F10/00;C08F4/00;C08F4/80;C08F32/08;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 C08F10/00
代理机构 代理人
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