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发明名称 WAFER LOADING ROBOT USED FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060022146(A) 申请公布日期 2006.03.09
申请号 KR20040070946 申请日期 2004.09.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SUNG HOON
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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