RAPID THERMAL PROCESSOR FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR,申请号KR20040070264-传众专利搜索

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发明名称	RAPID THERMAL PROCESSOR FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号	KR20060021500(A)	申请公布日期	2006.03.08
申请号	KR20040070264	申请日期	2004.09.03
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	JUNG, YOUNG KWON
分类号	H01L21/324;H01L21/02	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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