发明名称 FABRICATION OF SILICON MICROPHONES
摘要
申请公布号 EP1632105(A1) 申请公布日期 2006.03.08
申请号 EP20040734967 申请日期 2004.05.26
申请人 SENSFAB PTE LTD 发明人 KOK, KITT-WAI;ONG, KOK MENG;SOORIAKUMAR, KATHIRGAMASUNDARAM;PATMON, BRYAN, KEITH
分类号 H04R19/00;H04R19/04;H04R31/00;(IPC1-7):H04R19/04 主分类号 H04R19/00
代理机构 代理人
主权项
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