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发明名称
Catadioptric optical system and exposure apparatus equipped with the same
摘要
申请公布号
EP1318425(B1)
申请公布日期
2006.03.08
申请号
EP20030000101
申请日期
2000.07.13
申请人
NIKON CORPORATION
发明人
SUENAGA, YUTAKA;MIYASHITA, TOMOHIRO;YAMAGUCHI, KOTARO
分类号
G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027
主分类号
G02B17/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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