APPARATUS AND METHOD FOR PREVENTING EDGE BEAD EFFECT IN THICK PHOTORESIST,申请号KR20040070509-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS AND METHOD FOR PREVENTING EDGE BEAD EFFECT IN THICK PHOTORESIST
摘要
申请公布号	KR20060021675(A)	申请公布日期	2006.03.08
申请号	KR20040070509	申请日期	2004.09.03
申请人	KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY	发明人	LEE, BYUNG CHUL;CHANG, SUNG IL;YOON, JUN BO
分类号	H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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