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发明名称 VARIABLE SPOT-SIZE SCANNING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0870188(B8) 申请公布日期 2006.03.08
申请号 EP19950916391 申请日期 1995.04.13
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 NIKOONAHAD, MEHRDAD
分类号 G02F1/11;G01B11/30;G01N21/956;G02B26/10;G03F7/20;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00;G01N21/88;G02F1/33;G01B11/00;G02B26/08 主分类号 G02F1/11
代理机构 代理人
主权项
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