| 发明名称 |
ION BEAM-ASSISTED HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTOR(HTS) DEPOSITION FOR THICK FILM TAPE |
| 摘要 |
An ion source (132) or (218) impinging on the substrate (116) to be coated is used to enhance a MOCVD, PVD or other process for the preparation of superconducting materials.
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| 申请公布号 |
KR20060021877(A) |
申请公布日期 |
2006.03.08 |
| 申请号 |
KR20057023345 |
申请日期 |
2005.12.05 |
| 申请人 |
SUPERPOWER, INC. |
发明人 |
SELVAMANICKAM VENKAT;LEE, HEE GYOUN |
| 分类号 |
C23C14/46;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/28;C23C16/40;C23C16/48;H01L39/24 |
主分类号 |
C23C14/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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