接合衬底以及使得衬底结合在一起的方法

摘要

一种接合衬底包括：第一衬底(1)、在所述第一衬底之一个表面上形成的缓冲薄膜(2)，在所述缓冲薄膜上形成的并且较其具有较低之阻尼值的含有金属的薄膜，以及与所述第一衬底(1)之所述另一表面相结合的第二衬底(4)。

主权项

1.一种接合衬底，所述衬底包括：第一衬底，所述第一衬底具有两个相反的表面；缓冲薄膜，所述薄膜形成在所述第一衬底之所述一个表面上；含有金属的薄膜，所述薄膜形成在所述缓冲薄膜上并具有较所述缓冲薄膜小的表面阻尼；以及第二衬底，所述第二衬底与所述第一衬底之所述相反的表面相结合。