叠层装置及利用该叠层装置的激光感热成像方法

摘要

本发明提供一种叠层装置及采用该叠层装置的激光感热成像方法。该叠层装置包括：用于固定第一和第二基板的卡盘；卡盘带有至少一个真空孔，该真空孔位于卡盘之中且露于第一基板之外。通过使用带有真空孔的卡盘以在叠层工艺中更牢固地固定施主基板和基板，从而增强了两个基板之间的附着力，该方法能够改善在叠层工艺期间产生气泡和错位的问题。另外，通过在常压惰性气体气氛中进行叠层工艺，本发明能够抑制外部颗粒进入发射层和像素电极，并因此防止在OLED的发射区域中产生诸如污点或像素缺陷的显示器件故障。

主权项

1.一种叠层装置，包括：用于固定第一和第二基板的卡盘；和该卡盘具有位于卡盘中且在卡盘中露于所述第一基板之外的至少一个真空孔。