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发明名称 Exposure lens with a plurality of optical elements
摘要
申请公布号 EP1275995(B1) 申请公布日期 2006.03.08
申请号 EP20020014674 申请日期 2002.07.03
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HOF, ALBRECHT, DR.;MAUL, GUENTER, DIPL.-ING.;MUEHLBEYER, MICHAEL, DIPL.-ING.;MEHLKOPP, KLAUS
分类号 G02B7/00;G02B7/182;G02B7/02;G02B27/62;G03F7/20;G21K1/06;G21K5/02;H01L21/027 主分类号 G02B7/00
代理机构 代理人
主权项
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