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经营范围
发明名称
Fluid heating apparatus
摘要
申请公布号
EP1139694(B1)
申请公布日期
2006.03.08
申请号
EP20010107475
申请日期
2001.03.28
申请人
TOSHIBA CERAMICS CO., LTD.;TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
TOYA, EIICHI;KONN, TOMIO;NAGATA, TOMOHIRO;SEKO, SUNAO;SAITO, TAKANORI;MIURA, KAZUTOSHI;HASEGAWA, HARUNARI;HOSHI, JOJI;ISHII, KATSUTOSHI
分类号
H05B3/14;H05B3/44;F24H1/10;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/26;H01L21/31;H05B3/40;H05B3/42;H05B3/46
主分类号
H05B3/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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