| 发明名称 |
一种太阳能电池制作方法 |
| 摘要 |
本发明公开了太阳能应用领域一种太阳能电池制作方法，本发明按生产过程依次为如下六个步骤：前道化学预处理；半导体PN结的制作；电感偶合等离子(ICP)刻蚀周边；淀积氮化硅薄膜；丝网印刷正、背面电极；正、背面电极金属化及氮化硅薄膜烧穿。铝浆小窗口处印刷采用银铝浆，保证了小窗口也同样获得铝背场的结构，并且实现了铝浆小窗口处的三价铝对五价磷的补偿作用，同时本发明也对烧穿氮化硅薄膜工艺中的硅电池正面PN结结深作了进一步优化设计，实施效果是单晶硅太阳电池的效率达14.6％，多晶硅太阳电池的效率达14.0％。 |
| 申请公布号 |
CN1744331A |
申请公布日期 |
2006.03.08 |
| 申请号 |
CN200510043032.0 |
申请日期 |
2005.08.01 |
| 申请人 |
金昊;顾箐 |
发明人 |
顾箐;陈娟娟;陈钊;李忠;金昊 |
| 分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
1、一种太阳能电池制作方法，其特征在于：按制作方法生产顺序分为如下六个步骤：前道化学预处理；半导体PN结制作；电感偶合等离子刻蚀周边；淀积氮化硅薄膜；丝网印刷正、背面电极；正、背面电极金属化及氮化硅薄膜烧穿。 |
| 地址 |
710038陕西省西安市高新区高新5路2号创拓大厦318室 |
