化学品混合和供给装置及方法

摘要

本发明涉及用于混合至少两种化学品并将混合物供给至利用该混合物处理基片的基片处理装置的装置和方法。该化学品混合和供给装置包括：至少两个化学品来源部分；分别连接于化学品来源部分的输送管线；主输送管线，其连接于输送管线，构造得用于混合由输送管线输送的化学品，并将该混合物输送至处理装置；用于检测分别输送至输送管线的化学品流速的检测器；以及用于比较从检测器接收到的流速数据以控制化学品流速的控制部件。

主权项

1.一种用于混合至少两种化学品并将混合物供给至利用该混合物处理基片的基片处理装置的装置，该化学品混合和供给装置包括：至少两个化学品来源部分；分别连接于化学品来源部分的输送管线；主输送管线，其连接于输送管线，且构造得用于混合由输送管线输送的化学品，然后输送混合物至处理装置；用于检测分别输送至输送管线的化学品流速的检测器；以及用于比较从检测器接收到的流速数据以控制化学品流速的控制部件。