电弧的检测与抑制电路和方法

摘要

用以检测或抑制在连接至电源负载过程中产生的电阻抗中，电弧或其它异常变化的方法及设备。较佳地，该负载为一等离子体室，用以制造例如半导体及平面显示器的电子组件。电弧通过监视一个或多个感应器加以检出。每一感应器对电源至等离子体过程中所供给至电源特征作出反应，或者，被耦合至等离子体室，以对室内的电磁状态作出反应。通过降低简短功率输出时间，而抑制电弧。然后，电源增加其功率输出，较佳至其原始值。若再发生电弧，则电源重复降低然后回复功率输出这一步骤。

主权项

1.一种因应一个或多个感应器而检测在电负载中异常变化的电路，其中有一电源供给电力给该电负载，其特征是，其中每一感应器产生一对该电力或对该负载的电磁状态有反应的感应信号，该电路包含：一感应信号接收电路，用以接收每一感应信号及产生一或多个感应器导出信号，使得每一感应器导出信号的值为该一或多个感应信号的函数；一比较电路，用以接收该感应器导出信号并产生一对应比较结果给每一感应器导出信号，其中每一比较结果都具有一个值，其可以为真或假，在所述比较电路中，该比较器依据是否该对应感应器导出信号大于或少于有关该感应器导出信号的临限值，而决定每一比较结果的值；一警告电路，当任一比较结果为正时，该警告电路发出警报，以指明在电负载中的异常变化。