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发明名称 THIN FILM PREPARATION
摘要
申请公布号 JPH0855803(A) 申请公布日期 1996.02.27
申请号 JP19940177092 申请日期 1994.07.28
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 MIYASHITA KATSUJI;TOKAI NOBUO;ARIMA YASUJI;KURIHARA KUNIO;HEI PIITAA
分类号 C23C14/54;C23C14/56;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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