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发明名称 METHOD OF CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20060020825(A) 申请公布日期 2006.03.07
申请号 KR20040069513 申请日期 2004.09.01
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 YOON, JOON KU
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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