发明名称 GAS INJECTOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD OF INJECTING GAS
摘要
申请公布号 KR20060020567(A) 申请公布日期 2006.03.06
申请号 KR20040081019 申请日期 2004.10.11
申请人 JUSUNG ENGINEERING CO., LTD. 发明人 KIM, YONG JIN;LEE, SANG GON
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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