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发明名称 COOL-DOWN CHAMBER FOR ANTI-POPPING
摘要
申请公布号 KR20060020112(A) 申请公布日期 2006.03.06
申请号 KR20040068867 申请日期 2004.08.31
申请人 DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, JOONG SOOL
分类号 H01L21/68;H01L21/30 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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