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<p>Vorrichtung zur optischen Untersuchung von Oberflächen, insbesondere von Objektträgern, die einen Zeilensensor (3) besitzt, der über mindestens einen Abstandshalter (8) an einem Stativ (2) befestigt ist. Der Zeilensensor wird durch Verbiegen, Verkippen oder Verschwenken des mindestens einen Abstandshalters in einer Ebene parallel zur Untersuchungsebene bewegt. Signale des Zeilensensors werden zur Untersuchung der Oberfläche bzw. Ebene ausgewertet.</p> |
