发明名称 METHOD FOR CMP OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060020189(A) 申请公布日期 2006.03.06
申请号 KR20040068972 申请日期 2004.08.31
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 PARK, HYUNG SOON;PARK, JUM YONG;RYU, CHEOL HWI
分类号 H01L21/304;H01L21/3105 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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