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发明名称
Probe card having micro-spring and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号
KR100555585(B1)
申请公布日期
2006.03.03
申请号
KR20040056802
申请日期
2004.07.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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